ìíµ¶Á¡ EUV¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®, ±¹³» °³¹ß Âø¼ö
[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ¹Ú¼Ò¿¬ ±âÀÚ] »ï¼ºÀüÀÚ Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ±ØÀڿܼ±(EUV)¿ë 'Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(°¨±¤¾×)'¸¦ ±¹³» A»ç°¡ °³¹ßÁßÀÎ °ÍÀ¸·Î È®ÀεƴÙ.
Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â »ç½Ç»ó ÀϺ» ±â¾÷ÀÌ µ¶Á¡ÇÏ°í ÀÖ´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀçÁß Çϳª´Ù. ÀϺ»ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ÇٽɼÒÀç ¼öÃâ±ÔÁ¦¸¦ Á¤¸éÀ¸·Î µ¹ÆÄÇϱâ À§ÇÑ ÀÚ±¸Ã¥À¸·Î Ç®À̵ȴÙ.
24ÀÏ ¾÷°è¿¡ µû¸£¸é ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ±â¾÷ A»ç´Â »ï¼ºÀüÀÚ °æ±âµµ ȼº ½Å±Ô EUV »ý»ê°øÁ¤¿¡ ÅõÀ﵃ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® °øµ¿ ¿¬±¸°³¹ß(R&D)¿¡ Âø¼öÇß´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ ¿£Áö´Ï¾îµéÀÌ È¼º EUV°øÁ¤¿¡¼ Å×½ºÆ®¸¦ ÇÏ°í, A±â¾÷ ¿¬±¸¿øµé°ú ±× °á°ú¸¦ °øÀ¯ÇÏ´Â ¹æ½ÄÀÌ´Ù.
°ü·Ã±â»ç 3¸é
Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ÀÇ Ã¹ ´Ü°èÀÎ ³ë±¤(ÒËÎÃ) °øÁ¤¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ¼ÒÀç´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¿øÀç·áÀÎ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ºûÀ» ½÷ ¿øÇÏ´Â ¸ð¾çÀÇ È¸·Î¸¦ ±×¸®´Â °øÁ¤ÀÌ´Ù.
¿Ã 1~5¿ù ´ë(Óß) ÀϺ» Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼öÀÔ¾×Àº 1¾ï351¸¸6000´Þ·¯(ÇÑÈ 1220¾ï¿ø)´Ù. Àüü Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼öÀÔ·® Áß ´ëÀÏ ÀÇÁ¸µµ°¡ 91.9%¿¡ ´ÞÇß´Ù. ÀϺ»ÀÌ ¼öÃâ±ÔÁ¦ Ç°¸ñ¿¡ 'Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®'¸¦ Æ÷ÇÔ½ÃŲ ÀÌÀ¯´Ù.
»ï¼ºÀüÀڴ ȼº EUV»ý»ê°øÁ¤À» '¹ÝµµÃ¼ ºñÀü 2030'Àü·«ÀÇ ÇÙ½ÉÀ¸·Î »ï°í ÀÖ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³ 4¿ù 2030³â±îÁö 133Á¶¿øÀ» ÅõÀÚÇØ ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß 1À§¸¦ ´Þ¼ºÇÏ°Ú´Ù´Â ¹ÝµµÃ¼ ºñÀü 2030À» ¹àÈù ¹Ù ÀÖ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â 2020³âºÎÅÍ È¼º EUV»ý»ê¶óÀÎÀ» °¡µ¿ÇÑ´Ù´Â °èȹÀ» ¼¼¿ì°í ÀÖ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ °ü°èÀÚ´Â "Â÷¼¼´ë EUV °øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ ±â´ë°¨À¸·Î ±Û·Î¹ú ¾÷üµéÀÇ ÁÖ¹®ÀÌ ¸ô·È´Ù"¸é¼ "°í°´µéÀÇ ½Å·Ú°¡ Èçµé¸®Áö ¾Êµµ·Ï ÃÖ¼±ÀÇ ³ë·ÂÀ» ´ÙÇÏ°Ú´Ù"°í ¸»Çß´Ù.