¹Ú¼ºÁß ±¹È¸ °ú¹æÀ§¿ø, "¿¬±¸º¸Á¶±ÝÀ¸·Î Ư¼ö°¡½º ±¸¸Å...¹Î°£¿¡ Àü¿ë"
¾Õ¼ ¿¬±¸¿ë ±Ýµµ °°Àº ¹æ½ÄÀ¸·Î ¼öÀÍ»ç¾÷ ÇÏ´Ù °£ºÎµé ºÒ±¸¼Ó±â¼ÒµÅ
³ª³ë±â¼ú¿ø ÀÓ¹«.
[¼¿ï°æÁ¦] °ú°Å ¿¬±¸¿ë ±Ý(ÑÑ)À» ¼öÀÍ»ç¾÷¿¡ »ç¿ëÇØ ³í¶õÀ» ºú¾ú´ø Çѱ¹³ª³ë±â¼ú¿øÀÌ ´ç½Ã¿Í À¯»çÇÑ ¹æ¹ýÀ¸·Î ¡®Æ¯¼ö°¡½º¡¯¸¦ Àü¿ëÇÑ °ÍÀ¸·Î ³ªÅ¸³µ´Ù.
¹Ú¼ºÁß ±¹È¸ °úÇбâ¼úÁ¤º¸¹æ¼ÛÅë½ÅÀ§¿øȸ À§¿ø(¼¿ï ¼ÃÊÀ»)¿¡ µû¸£¸é Çѱ¹³ª³ë±â¼ú¿øÀº Áö³ÇØ Á¤ºÎ ¿¬±¸°úÁ¦ ¼öÇàÀ» À§ÇØ ¹ÞÀº ±¹°¡º¸Á¶±ÝÀ¸·Î Ư¼ö°¡½º(AsH3/ºñȼö¼Ò, PH3/ÀÎȼö¼Ò µî)¸¦ ±¸¸ÅÇØ ¼öÀÍ»ç¾÷ µî ¿ÜºÎÁö¿ø ¸ñÀûÀ¸·Î »ç¿ëÇß´Ù.
Çѱ¹³ª³ë±â¼ú¿øÀÌ ºñȼö¼Ò¿Í ÀÎȼö¼Ò µî Ư¼ö°¡½º¸¦ ¿¬±¸ºñ·Î ±¸¸ÅÇÑ µÚ ¿ÜºÎ¿¡ Áö¿øÇØ ¼öÀÍÀ» ¿Ã·È´Ù´Â °ÍÀÌ´Ù. ³ª³ë±â¼ú¿øÀÌ ¹Ú ÀÇ¿ø½Ç¿¡ Á¦ÃâÇÑ MOCVD Àåºñ »ç¿ë½ÇÀûÀ» »ìÆ캸¸é Áö³ÇØ ¿ÜºÎÁö¿øÀ¸·Î 1,111½Ã°£ÀÌ »ç¿ëµÆ´Ù. Ư¼ö°¡½º´Â ¹ÝµµÃ¼¿Í LED µîÀÇ Á¦Á¶°øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ÈÇÐÁõÂø¹ýÀ» ´Ù·ç´Â MOCVD Àåºñ¿¡ ¾²ÀδÙ.
¹Ú ÀÇ¿øÀº ¡°±¹°íº¸Á¶±ÝÀ¸·Î ±¸¸ÅÇÑ Æ¯¼ö°¡½º¸¦ »ç¿ëÇÏ´Â MOCVD 1¡¤3¡¤4¡¤6È£±âÀÇ ¿ÜºÎÁö¿øÀ» È®ÀÎÇß´Ù¡±¸ç ¡°ÀÌ´Â º¸Á¶±Ý °ü¸®¹ýÀ» À§¹ÝÇÑ °Í¡±À̶ó°í ÁÖÀåÇß´Ù. º¸Á¶±Ý °ü¸®¿¡ °üÇÑ ¹ý·ü Á¦22Á¶¿¡ µû¸£¸é º¸Á¶±ÝÀº ÇØ´ç ¸ñÀû ÀÌ¿Ü¿¡ »ç¿ëÇÒ ¼ö ¾ø´Âµ¥ ¼öÀÍ»ç¾÷À¸·Î Àü¿ëÇß´Ù´Â °ÍÀÌ´Ù.
¾Õ¼ ³ª³ë±â¼ú¿øÀº 2010³âºÎÅÍ 2017³â±îÁö 87°³ ±¹°¡¿¬±¸°³¹ß °úÁ¦¸¦ ¼öÇàÇϱâ À§ÇÑ ¿¬±¸¿ë ±Ý 22¾ï¿ø »ó´çÀ» ±¸¸ÅÇÑ µÚ 16¾ï¿ø »ó´çÀ» ÀÚü ¼öÀÍ»ç¾÷¿¡ »ç¿ëÇÏ´Ù°¡ °£ºÎµéÀÌ °ËÂû¿¡ ºÒ±¸¼Ó±â¼ÒµÇ±âµµ Çß´Ù.
ÀÌ ¹®Á¦´Â 2017³â ±¹°¨¿¡¼ µå·¯³ª ´ç½Ã ±è°æÁø ÀÇ¿øÀÌ ¡°¹Î°£±â¾÷ÀÇ °æ¿ì °øÁ¤ ÈÄ ³ª¿Â ±Ý ºÎ»ê¹°ÀÇ 90%ÀÌ»óÀ» ÀçÈ°¿ëÇÏ°í ÀÖÁö¸¸ ³ª³ë±â¼ú¿øÀº ÇöÀç â°í¿¡ ¹æÄ¡µÈ ±Ý ºÎ»ê¹°ÀÌ ¾à 3¾ï¿ø¿¡ ´ÞÇÑ´Ù¡±¸ç ¡°³ª³ë±â¼ú¿ø»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ±Ý ºÎ»ê¹°ÀÌ ³ª¿À´Â Àüü ±â°ü¿¡ ´ëÇÑ Àü¼öÁ¶»ç¸¦ ½Ç½ÃÇÏ¿© Ⱦ·É¡¤ºñ¸® ÀÇȤÀº ¾ø´ÂÁö öÀúÈ÷ Á¶»çÇØ¾ß ÇÑ´Ù¡±°í ÁúŸÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù. Á¤ºÎ¿Í °ø°ø±â°üÀÇ ±Ý°ú °°Àº °íºÎ°¡°¡Ä¡ Àç·áÀÇ Ã³¸®¡¤°ü¸® ±ÔÁ¤ÀÌ ¾ø¾î Ÿ °ø°ø±â°üµµ ¸¶Âù°¡Áö »óȲÀ̶ó´Â °ÍÀÌ´Ù. /°í±¤º» ¼±ÀÓ±âÀÚ [email protected]