5ÀÏ ¾÷°è¿¡ µû¸£¸é ÇöÀç ±¹³»¿¡¼ À¯ÀÏÇÏ°Ô Æ縮ŬÀ» »ý»êÇÏ°í ÀÖ´Â ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ÀÇ ¿ÃÇØ ÆÓ¸®Å¬ ¼öÃâ ¹°·®Àº Àü³â ´ëºñ 50% °¡±îÀÌ Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
https://www.thelec.kr/news/articleView.html?idxno=19016
´õÀÏ·ºÀ̶ó´Â °÷ÀÌ ¹ÝµµÃ¼Àü¹®À¸·Î À¯Æ©ºêµµ ÇÏ°í ÀÖ¾î¼ EUVÂÊ°ú Æ縮Ŭ ÂÊ ´º½º¸¦ °¡Àå ¸ÕÀú Àü´ÞÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
EUV°ü·ÃÇؼ °ü½ÉÀÌ ¸¹Àºµ¥
¿¡½º¾Ø¿¡½ºÅØ°ú ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼ µÎ Á¾¸ñÀÌ °¡Àå Áß¿äÇÑ Á¾¸ñÀÌ°í
ÀÏ´Ü ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼°¡ À¯ÀÏÇÏ°Ô Æ縮ŬÀ» »ý»êÇÏ°í Àֳ׿ä.
¿¡½º¾Ø¿¡½ºÅصµ °ð »ý»êÇÒ °ÍÀ¸·Î »ý°¢µË´Ï´Ù.
EUV°ü·ÃÇؼ´Â À¯Æ©ºê¿¡ ¸¹Àº ÀÚ·á°¡ ÀÖÀ¸´Ï Çѹø Âë ì°Üº¸´Â °ÍÀÌ ÅõÀÚ¿¡ µµ¿òÀÌ µÉ°Å¿¡¿ä.
¿¡½º¾Ø¿¡½ºÅØÀÌ Á» ´õ °¡´É¼ºÀÌ ³ô¾Æº¸¿´´Âµ¥ ´º½º»óÀ¸·Î´Â ÀÏ´Ü ¿¡ÇÁ¿¡½ºÆ¼°¡ ¸ÕÀú ÆǸŸ¦ ½ÃÀÛÇÏ°í Àֳ׿ä.
¼ö¿ä°¡ °¥¼ö·Ï Áõ°¡ÁßÀÌ°í ´º½º·Î °ÇÏ°Ô ³ª¿À°Å³ª Áõ±Ç»ç¸®Æ÷Æ®¶óµµ ÇÑ ¹ø ³ª¿À¸é ½Ã¼¼°¡ ³ª¿Ã °ÍÀ¸·Î ÆǴܵ˴ϴÙ.
¿¡½º¿¡½ºÆ¼, ¿¡½º¾Ø¿¡½ºÅØ µÎ Á¾¸ñ °ü½É°¡Á®º¸¼¼¿ä.